SCREEN開發具有業界領先生產力的SS-3300S洗滌塔型單晶圓清洗系統

日本京都--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- (美國商業資訊)--SCREEN Holdings Group (TOKYO:7735)旗下子公司SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.（SCREEN SPE，總裁：Masato Goto）已完成SS-3300S洗滌塔型¹單晶圓清洗系統的開發。SS-3300S可在每小時高達1,000片晶圓²的處理速度下提供高度穩定的性能，從而使其能夠提供業界領先的生產力。該系統將於12月開始銷售。

近年來，在遠距工作、線上學習和影音串流等活動所需的資料流量持續增長的帶動下，資料中心市場已顯著擴大。同時，主要用於車載和工業應用的5G智慧型手機和物聯網(IoT)基礎架構的快速普及，促使對這些及其他尖端市場所需的精密半導體的需求不斷成長。

為因應此一需求，半導體製造商已不斷改進用於先進邏輯和記憶體IC的電路的小型化和整合度，從而造成對在半導體製造過程中去除微粒子的需求更甚。更具體地說，這使得對高處理量洗滌塔型單晶圓清洗系統的需求日益成長，這些系統可提供更高水準的清洗性能以及更穩定的處理能力。

基於這些趨勢，SCREEN SPE開發出SS-3300S，這是一款洗滌塔型單晶圓清洗系統，具有業界領先的生產力。SS-3300S延續了廣受讚譽的處理可靠性，這種可靠性已經使SS-3200成為該領域產業事實上的標準，目前已在全球出貨超過500套系統。為SS-3200開發的處理條件，SS-3300S也可以繼續使用完全相同的條件，從而確保順利引進新系統。

作為業界首創³的洗滌塔型系統，SS-3300S配有可安裝多達16個腔室的新平臺。此外，新的雙傳送系統大幅提高了系統占地面積產量，幫助SS-3300S達到業界最高水準的實際處理能力，最高可達1,000 wph（比傳統型號提高了25%）。同樣，重新設計的控制系統使得SS-3300S可以用於物聯網(IoT)和系統間連接，符合目前向智慧工廠轉型的要求。

1. 使用軟刷和純淨水對晶圓進行物理清洗的方法。
2. 以相同的流量配方在連續運行期間達到最高處理量。
3. 根據SCREEN內部研究。

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