丹佛--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- 高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)利用高整合轉換器平臺擴展其Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT)產品系列，該平臺可以提供從極低溫度到極高溫度的高精度感測。
新型Luxtron M-1100是電漿輔助半導體沉積和蝕刻製程的理想之選，其工作溫度低至-200°C（低溫範圍的起始），高至450°C（「加熱吸盤」溫度），具有業界領先的精度（+/-0.1°C）和穩定性（+/-0.05°C）。五通道整合支援單台轉換器監測多個探頭，同時，靈活的通訊輸出簡化了數位監測、更新和系統整合。
Advanced Energy副總裁兼關鍵感測和控制產品總經理Dhaval Dhayatkar表示：「隨著半導體製造商尋求符合下一代製程的複雜蝕刻和沉積要求，在擴展的溫度範圍內進行精確監測至關重要。Luxtron M-1100進一步擴大了我們在高精度、磷光體光纖測溫方面的領先地位，並且符合客戶的需求，可盡量減少測量支出並支援監測和控制系統的整合。」
利用光纖探針和磷光體感測器技術，Luxtron FOT感測系統結合高效能轉換器與先進的光源、光電探測器專有軟體演算法和低雜訊放大電路。Luxtron M-1100是第一款同時提供類比和EtherCAT通訊介面的產品型號。
新型轉換器可用壁掛式安裝在被監控的系統一側，簡化其實施作業。在Advanced Energy全球工程團隊的支援下，用戶體驗得以進一步提升。這些團隊與原始設備製造商合作，為尖端應用開發訂製型探針。
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Luxtron M-1100將於7月11日至13日在加州舊金山莫斯康展覽中心舉行的2023 年美國SEMICON West展AE 960攤位上展出。點選此處瞭解更多資訊。
關於Advanced Energy
Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)是為任務關鍵型應用和製程設計和製造高度工程化精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球領導者。Advanced Energy的電源解決方案使客戶能夠在半導體設備、工業生產、醫療和生命科學、資料中心運算、網路和通訊等廣泛產業的複雜應用中進行創新。憑藉工程專業知識和為全球客戶提供快速回應服務和支援，該公司建立緊密的合作夥伴關係以因應科技的快速發展、推動客戶的成長並為電源產品的未來持續創新。Advanced Energy總部位於美國科羅拉多州丹佛市，四十年來一直致力於提供盡善盡美的電源產品。
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