日本電子株式會社：推出新型肖特基場發射(FE)掃描電子顯微鏡JSM-F100

―全新等級的智慧分析場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)，兼具高解析度和強大的可操作性―

東京--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--日本電子株式會社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)（總裁兼營運長：大井泉）宣布，將於2019年8月推出新型肖特基(Schottky)場發射掃描電子顯微鏡JSM-F100。

https://www.jeol.co.jp/en/news/detail/20190804.3456.html

背景

掃描電子顯微鏡(SEM)應用於不同的領域：奈米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學等。隨著應用範圍的擴大，SEM使用者需要快速、高品質的資料擷取及簡單的組成資訊確認和無縫操作。

JSM-F100搭載我們備受推崇的浸沒式(In-lens)肖特基Plus場發射電子槍和"Neo Engine"（電子光學控制系統），以及全新的GUI "SEM Center"和創新的「即時影像視覺增強器-人工智慧(LIVE-AI)濾鏡」，實現了高空間解析度成像和可操作性的最優組合。此外，標準的JEOL能量色散型X射線光譜儀(EDS)完全整合於"SEM Center"內，可實現從影像到元素分析結果的無縫採集。JSM-F100提供卓越的工作效率，高出我們之前的JSM-7000系列50%或以上，實現了生產量的顯著提高。

特性

1. 浸沒式肖特基Plus場發射電子槍
   電子槍與低像差聚光透鏡的進一步整合帶來更高的亮度。低加速電壓下具有足夠的探頭電流，支援從高解析度成像到高速元素映射的各種功能。
2. 混合式透鏡(HL)
   混合式透鏡(HL)將靜電場鏡和磁場透鏡相結合，支援各種樣品的高空間解析度成像和分析。
3. Neo Engine（新型電子光學引擎）
   Neo Engine是一款先進的電子光學控制系統，可顯著提高自動化功能的精確度和可操作性。
4. "SEM Center"新功能
   全新GUI "SEM Center"全面整合SEM成像和EDS分析，提供使用FE-SEM實現的下一代可操作性和高解析度影像。
5. "Zeromag"新功能
   整合的"Zeromag"可實現從光學成像到SEM成像的無縫過渡，讓定位目標樣品區域變得十分輕鬆。
6. 全新LIVE-AI濾鏡*
   透過利用人工智慧(AI)功能，整合的LIVE-AI濾鏡可以提供更高品質的即時影像。與影像融合處理不同，這款新的濾鏡能夠顯示無縫移動的即時影像，無殘留影像，對於快速搜尋觀察區域、對焦和散光像差補償器調整十分有效。
   *選購

規格
解析度(1 kV)	1.3奈米
解析度(20 kV)	0.9奈米
加速電壓	0.01至30 kV
標準檢測器	高位電子檢測器(UED)，二次電子檢測器(SED)
電子槍	浸沒式肖特基Plus場發射電子槍
探頭電流	幾pA至300 nA (30 kV) 幾pA至100 nA (5 kV)
物鏡	混合式透鏡(HL)
樣品台	全優中心(eucentric)測角儀樣品台
樣品移動	X軸：70毫米，Y軸：50毫米，Z軸：2至41毫米 傾斜： –5至70°，旋轉：360°
EDS檢測器	能量解析度：133 eV或更低 可檢測元素：B（硼）至U（鈾） 檢測面積：60平方毫米

目標年銷量

60台/年

日本電子株式會社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉，總裁兼營運長
（股票代碼：6951，東京證券交易所第一部）
www.jeol.com

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