日本电子株式会社：推出新型肖特基场发射(FE)扫描电子显微镜JSM-F100

―全新级别的智能分析场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)，兼具高分辨率和强大的可操作性―

东京--(BUSINESS WIRE)--(美国商业资讯)--日本电子株式会社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)（总裁兼首席运营官：大井泉）宣布，将于2019年8月推出新型肖特基(Schottky)场发射扫描电子显微镜JSM-F100。

https://www.jeol.co.jp/en/news/detail/20190804.3456.html

背景

扫描电子显微镜(SEM)应用于不同的领域：纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大，SEM用户需要快速、高质量的数据采集及简单的组成信息确认和无缝操作。

JSM-F100搭载我们备受推崇的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪和"Neo Engine"（电子光学控制系统），以及全新的GUI "SEM Center"和创新的“实时图像视觉增强器-人工智能(LIVE-AI)滤镜”，实现了高空间分辨率成像和可操作性的最优组合。此外，标配的JEOL能量色散型X射线光谱仪(EDS)完全整合于"SEM Center"内，可实现从图像到元素分析结果的无缝采集。JSM-F100提供卓越的工作效率，高出我们之前的JSM-7000系列50%或以上，实现了生产量的显著提高。

特性

1. 浸没式肖特基Plus场发射电子枪
   电子枪与低像差聚光透镜的进一步整合带来更高的亮度。低加速电压下具有足够的探头电流，支持从高分辨率成像到高速元素映射的各种功能。
2. 混合式透镜(HL)
   混合式透镜(HL)将静电场镜和磁场透镜相结合，支持各种样品的高空间分辨率成像和分析。
3. Neo Engine（新型电子光学引擎）
   Neo Engine是一款先进的电子光学控制系统，可显著提高自动化功能的精确度和可操作性。
4. "SEM Center"新功能
   全新GUI "SEM Center"全面整合SEM成像和EDS分析，提供借助FE-SEM实现的下一代可操作性和高分辨率图像。
5. "Zeromag"新功能
   整合的"Zeromag"可实现从光学成像到SEM成像的无缝过渡，让定位目标样品区域变得十分轻松。
6. 全新LIVE-AI滤镜*
   通过利用人工智能(AI)功能，整合的LIVE-AI滤镜可以提供更高质量的实时图像。与图像融合处理不同，这款新的滤镜能够显示无缝移动的实时图像，无残留图像，对于快速搜索观察区域、对焦和消像散器调整十分有效。
   *选配

规格
分辨率(1 kV)	1.3纳米
分辨率(20 kV)	0.9纳米
加速电压	0.01至30 kV
标准检测器	高位电子检测器(UED)，二次电子检测器(SED)
电子枪	浸没式肖特基Plus场发射电子枪
探头电流	几pA至300 nA (30 kV) 几pA至100 nA (5 kV)
物镜	混合式透镜(HL)
样品台	全优中心(eucentric)测角仪样品台
样品移动	X轴：70毫米，Y轴：50毫米，Z轴：2至41毫米 倾斜： –5至70°，旋转：360°
EDS检测器	能量分辨率：133 eV或更低 可检测元素：B（硼）至U（铀） 检测面积：60平方毫米

目标年销量

60台/年

日本电子株式会社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉，总裁兼首席运营官
（股票代码：6951，东京证券交易所第一部）
www.jeol.com

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