日本京都和法國格勒諾布爾--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd. (SCREEN)和CEA Tech旗下的研究機構Leti今天宣佈雙方已加強合作，將在Leti的基地安裝奈秒級紫外線(UV)雷射退火LT-3100系統，該系統將由總部位於法國的SCREEN旗下子公司Laser Systems and Solutions of Europe (LASSE)提供。
Leti執行長Marie Semeria表示：「將SCREEN的奈秒級紫外線雷射退火刀具引進到Leti先進的前工業化設備基礎設施中，將為現場部署當前和未來科技帶來新的創新機會。隨著SOI、CoolCubeTM和奈米線科技的發展，我們在開發新材料性能和超薄膜改性且將熱影響降至最低方面正面臨日益嚴峻的挑戰。利用LT-3100系統將催生帶來技術突破的解決方案，並最終帶動業界開發實用型實物模型。」
SCREEN Semiconductor Solutions總裁Tadahiro Suhara表示：「繼長期與Leti保持成功的共同開發合作之後，我們非常高興能有此機會為Leti的生態系統帶來我們的雷射技術，以因應『超越摩爾定律』(More than Moore)、物聯網和未來創新科技的需要。除了合作活動之外，我們還將利用Leti的先進基礎設施來營運我們的LASSE歐洲示範實驗室，從而賦予我們的客戶前所未有的示範基礎設施能力。我們期望展現奈秒級紫外線雷射設備技術和資源帶來的創新價值，從而在由Leti所支持的多個研發領域推動半導體製程的開發。」
雷射刀具可望於2017年上半年全面投產，並將支援多種晶圓尺寸要求，從而符合Leti實驗室的不同需求。
關於Leti（法國）
作為隸屬於CEA Tech的三大先進研究機構之一，Leti是基礎研究與改善全球人類生活品質的微奈米科技生產之間的橋樑。它致力於打造創新產品，並將其運用於工業。在其2,800項專利組合的支援下，Leti與大型工業企業、中小型企業(SME)及初創公司合作，量身打造可增強其競爭水準的先進解決方案。它已推動59個初創公司。其面積達8,500m²的新一代清潔室空間可進行微奈米解決方案的200mm和300mm晶片處理，適用於航空、智慧型裝置等應用。Leti總部位於法國格勒諾布爾，擁有逾1,900名員工，在加州矽谷和東京設有辦事處。CEA Tech是法國再生能源與原子能委員會(CEA)旗下的科技研究分會，也是創新研發、防務與安全、核能、工業科技研究和基礎科學領域的主要參與者，而且被湯森路透(Thomson Reuters)認為是全球最具創新力的研究組織。CEA Tech利用獨特的創新驅動文化和無與倫比的專業知識，開發並傳播工業新科技，從而協助打造高階產品和提供競爭優勢。請在www.leti.fr和@CEA_Leti關注我們。
關於SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.
SCREEN Semiconductor Solutions為 SCREEN Holdings集團旗下子公司，該公司從其前身Dainippon Screen繼承了半導體設備業務。SCREEN是一家專業製造商，業務遍及晶圓清洗設備、光刻設備和熱處理等各個領域，是半導體製造業全球前十大設備供應商之一。
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