GTアドバンスト・テクノロジーズ、サファイア材料品質がLEDウエハー加工プロセスに与える影響について事例研究を発表

GT ASF材料がLEDウエハー製造で最高の歩留まりを実現

米ニューハンプシャー州メリマック--()--(ビジネスワイヤ)-- GTアドバンスト・テクノロジーズ(NASDAQ:GTAT)は本日、事例研究「歩留まりが重要:サファイア材料品質がLEDウエハー加工プロセスに与える影響(Yields Matter: The Impact of Sapphire Material Quality on the LED Wafering Process)」を公開したと発表しました。この論文は、サファイア材料品質が高輝度(HB)LED用エピレディー・ウエハー製造プロセスに与える効果について行ったブラインド試験の結果を報告しています。この調査により、サファイア材料品質がLEDウエハーの歩留まりに直接的に影響を及ぼすことと、試験対象の材料サプライヤー4社のうち、GTアドバンスト・サファイア炉(ASFTM)で成長させたサファイア材質のウエハー歩留まりが最も高いことが実証されました。

サファイア材料・装置担当副社長兼ゼネラルマネジャーのCheryl Diuguidは、次のように述べています。「GTは12年以上にわたり、LED業界にサファイアを供給してきました。今回の評価プロジェクトを開始した目的は、ASFで成長させたサファイア材料が優れた品質であることとウエハー歩留まりに好ましい影響を与えていることについて、納入先のお客さまから寄せられた好意的な見解を検証することにありました。ウエハー製造業者にとって、ウエハー歩留まりは自社の経済状況に直接影響を及ぼすことから、特に重要な要素です。さまざまなサファイア原材料でウエハー歩留まりに違いがあることと、GT製のASF材料が最高の歩留まりを達成したことが、データによって明らかになりました。」

調査では、GT ASFのほか、他のサファイアサプライヤー3社で製造された計25のコアサンプルを評価しました。GTは公平なデータを得るため、独立の大手ウエハーメーカーを通じて調査を実施し、ブラインド試験としてメーカー名等を表示しない材料を提供しました。データの収集は、ウエハー形状(表面粗さ(Ra)、厚みばらつき(TTV)、ワープ、バウ)やウエハー廃棄率といった、歩留まりとコストを高めるウエハー加工の主要パラメーターを用いて行われました。

今回のウエハー加工分析は、GTが主導した大規模な包括的材料評価プロジェクトの一環として行われたもので、高輝度(HB)LEDバリューチェーンにおける製造工程全体にサファイア材料特性が及ぼす影響を調査するものです。

当社は、9月28~30日に日本で開催される「LEDジャパン2011/Strategies in Light」トレードショーのブースで今回の調査結果を発表いたします。この事例研究の報告書は、開場中にGTのブースM-78でご覧いただけるほか、当社のウェブサイトwww.gtat.comでご覧いただけます。こちらをクリックすれば直接ご覧いただけます。

GTアドバンスト・テクノロジーズについて

GTアドバンスト・テクノロジーズは、ソーラー・LED・特殊市場にポリシリコン製造技術、サファイアおよびシリコンの結晶成長システム・材料を提供する世界的企業です。当社の製品とサービスは、顧客企業の製造環境の最適化や保有コストの低減に貢献しています。GTアドバンスト・テクノロジーズの詳細情報についてはwww.gtat.comをご覧ください。

本記者発表文の公式バージョンはオリジナル言語版です。翻訳言語版は、読者の便宜を図る目的で提供されたものであり、法的効力を持ちません。翻訳言語版を資料としてご利用になる際には、法的効力を有する唯一のバージョンであるオリジナル言語版と照らし合わせて頂くようお願い致します。

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Jeff Nestel-Patt, 603-204-2883
jeff.nestelpatt@gtat.com
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Investors/Analysts
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Ryan Blair, 603-681-3869
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